辩题征集已启动！第八届大湾区大学生税收辩论赛将在珠海举行

孙晓云当选新一届中国书协主席

阿洛斯

施克伦

屈雷勒 (上普罗旺斯阿尔卑斯省)

不過黨內仍憂心此舉恐直接衝擊年底選情。對此，鄭麗文表示，兩岸和平交流本就是選舉利多，並反問，若要確認兩岸朝和平方向發展，來自中國大陸領導人習近平的背書與表態，難道不重要嗎？

總預算案僵局怎麼解？ 部分藍委盼韓國瑜出面

不僅兩岸路線恐消耗選戰能量，也有國民黨立委針對總預算案語重心長指出，地方早已出現反彈聲浪，並盼立法院長韓國瑜能尋求朝野皆可接受的方式，盡速推動總預算全案審查。

台北／蔡昀彤、彭以德　責任編輯／蔡尚晉

鄭習會不只一次！ 鄭麗文：兩岸仇恨無法一夕解決、和平是唯一出路

圣瓦尔

圣热朗德沃

德讷耶莱米讷

　　“家里主要收入来源是什么？孩子们学习怎么样？”在吕亭镇的困难家庭中，就读于阜阳师范大学的准大四学生朱佳琪手持笔记本，细致询问、耐心倾听，认真记录每户的家庭结构、经济状况与实际困难。她不仅为后续帮扶工作提供了详实的一手资料，更将大学期间省吃俭用积攒的生活费，全部捐赠给桐城市情系爱心联合会，定向资助本地困境学生。

　　“看到有些孩子因经济原因求学困难，我就想尽自己所能帮一把。”朱佳琪说，尽管捐赠数额不算巨大，但她希望为家乡教育帮扶贡献一份力量。

　　吕亭镇还有很多大学生志愿者，像朱佳琪一样，心怀热忱、主动返乡，在不同岗位上默默奉献，彰显出新时代青年回报家乡、服务社会的责任与情怀。 （通讯员 王雅文）

桐城市吕亭镇：青春返乡践初心志愿服务显担当

梅普勒

福雷地区蒙泰居埃

格罗本格罗伊特

原木甄造坚守本真肌理

高定木作的核心始于选材，一体家美学木作始终坚守严苛的原料标准，基材均通过F4星及ENF级环保检测，甄选芬兰云杉、新西兰松木、巴西博耐克欧松板等优质木料，依托5次养生3次碳化工艺，大幅提升木作稳定性，远超行业常规标准。品牌摒弃过度修饰的设计手法，尊重木材原生纹理与自然质感，搭配环保水性漆涂装，既保留木纹的通透肌理，又筑牢环保底线，让每一件木作都承载自然温度，彻底摆脱同质化木作的平庸感。

精工匠艺打磨细节质感

匠心工艺是高定木作的灵魂，一体家美学木作深耕工艺研发，掌握圆弧热成型、ABA夹层结构、铣型免拉手、斜拼无缝拼接等六大核心工艺，结合骨骼线、夹心等精细化技法，兼顾结构稳固性与视觉层次感。展位现场展出的木作臻品，通过数控精密切割与手工慢磨双重加持，实现边角圆润、拼接无缝的效果，免拉手设计弱化五金突兀感，让线条更显简约利落，细微之处尽显高端定制的精工水准，也印证了品牌从设计到落地的全链路把控能力。

美学收纳平衡实用与格调

打破收纳与美学的对立壁垒，是一体家美学木作的核心优势之一。品牌聚焦人居空间痛点，打造兼具实用性与观赏性的收纳体系，摒弃单纯追求储物量的粗放设计，将收纳布局与空间美学深度融合。无论是柜体分层、墙板衔接还是异形空间定制，都以简约克制的设计语言优化空间动线，让收纳不再是空间的妥协，而是成为提升空间格调的重要载体，完美适配极简、现代东方、法式新贵等多元高端风格需求。

材质共生破界设计表达

为满足高端定制的多元化需求，一体家美学木作突破传统木作的单一形态，深耕多材质综合应用领域，实现木材与石材、金属、玻璃、皮革等材质的和谐共生。依托千余种材料库与柔性生产体系，品牌可完成门、墙、柜一体化定制，3米超高门板、隐形门等异形定制产品也能精准落地，让木作美学跳出固有框架，赋予空间更多设计可能性，展现高定木作的创新张力。

以木为芯定义高定新风

以木为约，以匠为魂。一体家美学木作凭借硬核的产品实力、前沿的美学理念与极致的定制水准，在2026乌镇国际设计周强势出圈，不仅成为全场高定木作领域的标杆范本，更重新定义了人居木作的质感标准。

此次亮相既是品牌匠造实力的集中展现，也为高端定制家居行业注入了全新的设计灵感与发展动能，未来将持续深耕高定木作赛道，以匠心雕琢品质，以美学赋能人居，书写高端定制领域的全新篇章。

木见乌镇 高定臻境｜一体家美学木作风华尽显，闪耀乌镇国际设计盛会

伊泽尔

维拉科尔马

福雷地区蒙泰居埃

据公开信息披露，3月18日，在泰国普吉岛卡图地区的一处射击场，一名中国游客刚与同伴结束射击体验项目后，在射击区域附近拍照时突发意外，被一枚子弹击中右脸颊，导致其受伤。涉事人员为射击场一名工作人员，其因个人操作的原因，导致枪支走火，子弹穿透木墙和玻璃门后击中该名中国游客。

3月20日9时许，中国驻宋卡总领馆驻普吉领事办公室工作人员向南都记者证实了该起事件，并表示该名受伤游客为中国公民，目前其受伤情况严重，正在普吉岛的瓦奇拉医院接受治疗。

总领馆就中国游客普吉岛射击场中弹答南都：受伤严重正在治疗

福孔迪凯尔

里比耶

格雷乌莱班

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用

鲁贡

勒布绍

阿列河畔堡